Книги автора: Жабрев В. А. (1)

Физические основы микроэлектроники: учебник для студ. высш. учеб. заведений

1 000 р.

Товар в корзине

Авторы: Марголин В. И. (1) Жабрев В. А. (1) Тупик В. А. (1)

Серия: Высшее профессиональное образование (13)

Издательство: Академия

Место издания: Москва

Тип переплёта: ламинированный тверд.

Год издания: 2008

Формат: Стандартный

ISBN: 978-5-7695-4227-5

Состояние: Новая.

Всего томов: 1

На остатке: 1

1 000 р.

Товар в корзине

Аннотация

Изложены основы квантовой механики,фрактальной геометрии и фрактальной физики,нелинейной динамики.Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро-и наноэлектроники:получение тонкопленочных структур,создание и перенос литографического изображения,методы модификации поверхностных и объемных структур,основы и методы контроля и метрологии.
Для студентов высших учебных заведений.